適用于半導體行業液態化學品測量

該折光儀外形緊湊，流通池采用改良超純 PTFE 制成，適用于半導體液態化學品測量。可通過 ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴口 Flare 連接。

維薩拉 K-PATENTS? 半導體行業用折光儀 PR-33-S 用于晶圓潔凈室里的化學品濃度監測，通常被安裝在混合、清洗、蝕刻和 (CMP) 等機臺上。

PR-33-S 包含改良超純 PTFE 流通池和以太網線，任何標準的以太網供電 (PoE) 開關均可通過以太網線向傳感器供電，并將數據傳輸給計算機。PR-33-S 實時監控化學品濃度，并立即通過以太網信號輸出，當化學品濃度超出規定范圍時，可通過配置過低濃度和過高濃度警報來控制和延長使用周期。該儀器通過光學原理測量溶液的折射率 nD 和溫度，從而獲得溶液濃度。

PR-33-S 直接通過柱形或喇叭形配件串接來進行安裝，而且結構緊湊，不含金屬，占地面積小。

關鍵要素：

• N.I.S.T. 標準下的可追溯校準及驗證，采用標準折射率液體和驗證程序進行驗證。

• 獨特光學核心設計。 

• 通過以太網進行數據記錄和遠程界面操作。

• 標準 UDP/IP 通信。

• 過程溫度范圍：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。

• 內置 Pt1000 快速溫度測量及自動溫度補償 

全數字化設備

維薩拉 K?PATENTS? 半導體行業用折光儀 PR-33-S 用于過程監控，可提供連續的以太網輸出信號，設計緊湊，可直接串接在過程管路上。

滿量程下保持精確穩定測量

折光率測量范圍 nD 1.3200–1.5300，相當于 0-100%（重量百分比）。對于高濃度 HF，可選范圍為 nD 1.2600–1.4700。標稱準確度為 R.I.+ 0.0002，通常相當于 0.1%（按重量百分比計），例如，鹽酸濃度。

測量不受顆粒、氣泡、紊流及 PPM 濃度級別微量雜質影響。

易于維護

獨特光學核心設計。
無漂移。無需重新校準。無需進行機械調節。